纯水是一种纯净的H2O，不含任何添加物，适用于多个行业。它在电子工业中应用广泛，例如电力系统的水质要求极高，杂质含量需达到微克/升级。制备纯水时，需依据电子元器件的生产工艺标准，但由于技术复杂，水质标准仍在不断修订中。

超纯水则是一种更高纯度的水，电阻率达到18MΩ*cm（25℃），几乎不含任何杂质。超纯水通常用于生产超纯材料，如半导体原件和纳米陶瓷材料。它通过蒸馏、去离子化、反渗透等复杂技术制备，工艺要求远高于纯水。

两者之间存在显著差异。首先，电导率不同，纯水的电导率在2-10us/cm之间，而超纯水仅为0.056us/cm。其次，制造工艺难度不同，纯水可通过反渗透、蒸馏等方法制备，但超纯水需经过光氧化技术、精处理和抛光处理等复杂步骤，工艺要求极高。

此外，纯水和超纯水在杂质含量上也存在较大差异。纯水的杂质含量为ppm级，而超纯水为ppb级，接近理论上纯净的水。纯水主要用于生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，而超纯水则广泛应用于电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。